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氦檢漏上門服務采用的氦檢漏試驗裝置由氦質譜檢漏儀、抽真空機組、真空表、壓力表等設備和儀器儀表所組成。氦質譜儀主要有進樣系統(tǒng)、離子源、質量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。

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